Le MEBE fonctionne grâce à la production d’un faisceau d’électron dont l’interaction avec avec la matière entraine :
- la formation d’électrons secondaires qui permet d’avoir des informations morphologiques sur l’échantillon avec une résolution de quelque nanomètre
- la formation d’électrons rétrodiffusés qui donne des informations sur les hétérogénéités de composition de l’échantillon avec une résolution d’environ 5nm.
- la production de rayons X dont l’analyse permet de déterminer la composition élémentaire de l’échantillon avec une résolution de 1µm.
La microscopie électronique à balayage permet d’observer une palette très large d’échantillons : échantillons massifs ou pulvérulents, conducteurs ou isolants, solides ou liquides, anhydres ou hydraté en fonction du mode d’utilisation (sous haut vide, sous bas vide ou en mode environnemental). En cas d’utilisation en mode STEM l’échantillon devra être mince pour les électrons transmis à travers l’échantillon puissent être analysés.
Spécifications techniques
- tensions d’accélération des électrons de 200V à 30kV
- Mode de fonctionnement:
- haut vide
- bas vide
- mode environnemental
- Imagerie :
- détecteur d’électrons secondaires
- détecteur d’électrons rétrodiffusés
- détecteurs en mode STEM:
- champ clair (BF)
- champ sombre (DF)
- champ sombre aux grand angles (HAADF)
- Analyse chimique
- détecteur de Rayon-X
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